儀器簡介

功能：1、物相分析：定性、定量、無標樣定量分析；

2、結構分析：精確測定晶胞參數、指標化；

3、薄膜分析：薄膜物相分析、次序、厚度、密度、粗糙度(0~5nm)；

4、小角散射分析：測量納米材料的粒度。

優勢：1、林克斯一維陣列探測器相對于常規探測器強度提高150倍以上，靈敏度提高一個數量級；

2、配備化學反應器（XRK900），可實現固體樣品在變溫狀態下（室溫～900℃）氣固反應測試，可真空、可通氫氣、氧氣、大氣；

3、配備變溫原位附件，可實現-180℃～1600℃下高低溫測試，2θ可測范圍-10°~163°。高低溫模塊之間的切換只需更換加熱模塊，而無需更換整個樣品臺；而且該樣品臺為高度自動可調樣品臺，對于不同高度的樣品均能應付自如；

4、配備高精度XYZ樣品臺，可完成薄膜、表面分析及其他多樣性樣品測試。

主要技術參數

1、光管：Cu靶，陶瓷X光管，3 kW；最大電壓50 kV，最大電流60 mA；

2、焦斑：線焦斑0.04 mm×12 mm，點焦斑0.4 mm×1.2 mm；

3、測角儀：θ/θ、立式、準確度0.005°、角度重復性0.0001°；

4、雙光路系統：平行光/聚焦光全自動切換，光路切換精度優于±0.0025°；入射光路可變狹縫開口0.05~1°，樣品照射寬度1～20 mm ；微區點光源0.3 mm、0.5 mm、1.0 mm；

5、LYNXEYE XE探測器：高分辯能量色散陣列探測器，能量分辨率＜380 eV；具有零維、一維、二維三種測量模式；最大計數：≥1×109 CPS、線性范圍：≥1×108 CPS；

6、測角角度偏差：≤±0.01°。

應用領域

應用于材料科學、物理、化學、機械、環境科學、生物學、地質、核能、微電子等領域。