儀器簡介：

功能：臺階高度、粗糙度、波紋度、翹曲度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌測量及分析。低測定力模式不僅能夠避免劃傷樣品，也能對于軟性樣品進行測試，適合于各類晶片、薄膜、涂層、MEMS、平板顯示等領域的表面測量。

優勢：采用了Kosaka獨有的直動式臺階測量方式，有效避免了傳統杠桿式臺階儀所帶來的圓弧誤差。全身花崗巖材質的低重心設計，起到了良好的自隔震作用，從而使儀器擁有極高的分辨率和極佳的重復性。

主要技術參數：

1.Z方向分辨率≤0.1 nm，線性度≤±0.25%

2.樣品臺的垂直直線度：局部0.005 μm/5 mm、全量程0.2 μm/100 mm

3.X方向最大單次測量長度：100 mm

應用領域：

廣泛應用于半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等領域樣品的臺階高低差、平面度、波紋度、翹曲度、內應力、微細表面形狀、段差、粗度等測量。