儀器簡介:功能:臺階高度、粗糙度、波紋度、翹曲度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌測量及分析。低測定力模式不僅能夠避免劃傷樣品,也能對于軟性樣品進行測試,適合于各類晶片、薄膜、涂層、MEMS、平板顯示等領域的表面測量。優勢:采用了Kosaka獨有的直動式臺階測量方式,有效避免了傳統杠桿式臺階儀所帶來的圓弧誤差。
2022-01-07 【檢驗檢測常見問題】 Tags: 分析儀器 物性分析 臺階儀