儀器簡介：

功能特點(diǎn)：SEM主要用于固態(tài)樣品表面形貌的二次電子像、背散射電子像觀察及圖像處理。它既可以觀察和檢測非均相有機(jī)材料、無機(jī)材料及在微米、納米級(jí)樣品的表面特征，配備的EDS也可以支持點(diǎn)、線及面上的元素掃描，能準(zhǔn)確分析樣品的元素分布。。

優(yōu)勢(shì)：SU8220冷場掃描電鏡采用全新設(shè)計(jì)的冷場發(fā)射電子槍大幅提高了探針電流，并極大增強(qiáng)了電流的穩(wěn)定性。在低加速電壓下，可長時(shí)間連續(xù)實(shí)現(xiàn)高分辨觀察和分析功能。具備超高真空發(fā)射槍和樣品室，將樣品污染降至最低，大幅度提高成像分辨率。

主要技術(shù)參數(shù)：

1.二次電子分辨率：0.8 nm (加速電壓15 kV，工作距離4 mm)；1.1 nm (著陸電壓1 kV，工作距離1.5 mm)(減速模式)。

2.放大倍率：低倍模式 20 – 2 k；高倍模式 100 – 1000 k。

3.冷場發(fā)射電子槍加速電壓：0.5 - 30 kV；電子槍著陸電壓: 0.01 - 2 kV。

4.能譜儀探測器：布魯克硅漂移（SDD）電制冷探測器，超薄窗設(shè)計(jì)，30 mm2有效面積；能量分辨率(100 kcps)≤ 129 eV (Mn-Ka)。

應(yīng)用領(lǐng)域：

金屬、陶瓷、礦物、半導(dǎo)體等材料的顯微形貌、晶體結(jié)構(gòu)和相組織的觀察與分析。各種材料微區(qū)化學(xué)成分的定性和半定量檢測。